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Wet Bench and Cleanroom

Materials and solutions for Wet Bench and Cleanroom

湿式工作台和洁净室解决方案

湿式工作台包括大量可使用酸/碱和溶剂等化学品的设备/应用。用于晶片蚀刻的化学浸渍槽就是湿式工作台的一个例子。生产线前端（FEOL）和生产线后端（BEOL）工艺通常使用湿工艺工具。这里的典型应用是蚀刻、清洁和剥离。湿式工作台设备的设计还必须考虑到洁净室的要求。更多详情，请访问工厂设备、洁净室和ESD。

材料特性

耐温性
在不同 pH 值下具有出色的耐化学性
极佳的机械性能
在某些情况下，需要严格的点火、防火和抑烟措施，并要求出厂时相互评级为 4910

使用的典型塑料材料有

PEEK（使用 FM4910 树脂）
用于螺丝和紧固件等部件具有出色的耐化学性和低放气性
PET
具有良好的耐化学性、强度、刚度和韧性
PTFE
与所有化学品几乎无反应
ECTFE （使用 FM4910 树脂）
通常用于接触刺激性化学品的地方
PVDF FM4910
通常用于使用非常苛刻化学品的场合
PP, PPs
良好的耐化学性和耐酸性，UL94-V2，亮白和双退火
PVC FM4910
防火材料符合工厂互认标准，通常用于包层

用于湿式工作台的罗克林材料

用于安全高级洁净室的塑料

每个无尘室都不尽相同。制造商必须考虑许多因素，从无尘室的等级到用途范围，再到客户的具体要求。墙壁、天花板和空气淋浴器等结构元素、通风和照明设备以及家具都需要详细规划。正确的材料在其中发挥着重要作用。

安排技术咨询

半导体工业用塑料的性能和使用寿命受多种因素的影响。要正确选择材料，就必须考虑这些标准。例如

抗静电或导电性能
工作温度
与化学品的接触
设计要求
尺寸和公差
阻燃性

我们很乐意为您的特殊应用提供合适的材料选择建议。请使用页面底部的联系表。

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